堆高機

　　一定流量、純度的普氮和氫氣同時進入裝置中，在混合器中充氮氣產生機分混合後，進入裝有鈀觸媒除氧器裝置，在脫氧催化劑的作用下產生2H2+O2=2H2O的化學反應，達到脫氧目的。脫氧後氮氣中的水氣經過冷卻器脫水，然後氮氣繼續進入干燥器干燥，使氮氣露點達-60℃左右，干燥器配置兩台，其中一台干燥器進行吸附干燥，另一台把已吸附飽和水氣的干燥器進行再生，為下一周期吸附工作做好准備。經干氮氣機燥後的氮氣通過過濾器除塵，最後得到的便是高純氮氣。 氣體發生器的性能指標、產品質量參差不齊。下面僅就市場上常用的三種氣體發生器(氫氣發生器 氮氣發生器、空氣壓縮機)的結構、特點做簡單的分析：

　　氮氣發生器 從制氮原理上來分有：中空纖維膜分離法、變壓吸附法、電化學分離法三種。

　　1)中空纖維膜分離法直接產生的氮氣純度一般在99%左右，流量範圍為0-10升/min，市場價格大約在幾萬到十萬。

　　2)變壓吸附法直接產生的氮氣流量範圍更寬，純度一般也99%氮氣產生機，市場價格大約在10萬以內。

　　3)電化學分離法直接產生的氮氣流量在0、3-0、5L/min，氧含量可以控制在幾個ppm，氣體露點根據吸附劑效能可以達到-55℃。